极化聚合物定向耦合型电光开关波导制备

摘要：

介绍了一种定向耦合型聚合物波导电光开关。利用溶胶-凝胶法合成了有机/无机杂化电光材料，旋涂在长有SiO2的Si衬底上。采用加载条形波导结构，利用环氧基紫外负性光刻胶SU-8制备引导层波导，甲基丙稀酸甲酯.甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物PMMA-GMA作为上包层。通过湿法刻蚀、电晕极化等工艺,制备了极化聚合物定向耦合型电光开关波导,并进行了光场测试。

关键词： 电光开关 定向耦合 聚合物波导

作者: 孙小强 孙杰 高伟男 高磊 陈长鸣 张大明

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院 长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第四届塑料光纤、聚合物光子学会议

会议地点: 河北秦皇岛·南戴河

会议语种:中文

页码: 112-116

在线出版日期: 2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）