基于极化聚合物SU-8/DR1的材料性能研究和波导结构设计

摘要：

本文探索了一种掺杂型聚合物SU-8/DR1，作为可用于制备电光开关波导的电光材料。在质量比为5：1的SU-8与稀释液的混合溶液中掺入1.8％(wt％)的分散红(DR1)，利用简单反射法测量材料薄膜的电光系数，发现经紫外曝光交联后样品的电光系数达到40pm/V以上，比曝光前增大25pm/V。使用椭偏仪测量了SU一8/DRI及SU-8光刻胶的折射率和曝光时间的关系，SU-8/DR1膜厚和旋涂转速的关系。根据以上结果选择合适的工艺条件，利用有效折射率法设计矩形单模波导。

关键词： 掺杂型聚合物 开关波导 电光材料 结构设计

作者: 单志博 陈长鸣 赵航 高伟男 孙小强 孙杰 张大明

作者单位: 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第四届塑料光纤、聚合物光子学会议

会议地点: 河北秦皇岛·南戴河

会议语种:中文

页码: 96-100

在线出版日期: 2008-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）