基于序列图像的投影匹配微纳位移检测方法研究
微纳米驱动精度和运动学特性对微纳米操作及加工装配等操作控制具有重要意义。本文针对微纳米驱动系统的运动状态检测问题，研究了基于序列图像的环境位移视觉检测方法。通过分析标准光栅的显微图像序列特点，提出了一种基于图像灰度分布特征的投影匹配方法。该方法对色彩纹理单一的微观图像序列进行处理，实现了微纳米操作系统平台的微位移检测，并给出了实验研究和算法效率分析。从实验结果可以看出，投影匹配法检测均方差为0.1 3微米，可以满足微纳操作精度要求，算法复杂度为图像一维尺寸的平方阶函数，运行时间不超过50毫秒，为实时建立微位移与微驱动信号间的关系模型、系统漂移模型，以及分析微纳米操作系统的运动学特性等提供了可行技术途径。
微纳米位移检测 投影匹配 序列图像
詹志坤 董再励 李文荣 刘柱
中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室，沈阳 110016 中国科学院研究生院，北京 100039 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室，沈阳 110016 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室，沈阳 110016 香港中文大学微纳米系统中心，香港
国内会议
北京
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162-168
2007-12-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）