关键词： 3C-SiC／Si（001）外延材料
作者: 梁骏吾 朱建军
作者单位: 科学院半导体研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议
会议地点: 宜昌
会议语种:中文
页码: 7～11
在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）