半导体前段洁净室中采用空气电离来控制静电的几点考虑

摘要：

在半导体前段制造过程中，微粒污染，静电放电损坏和与静电放电相关联的设备停机，是静电带来的三大问题，必须加以控制。静电控制方案包括接地，静电耗散材料的选择和空气电离化。半导体前段洁净室对空气电离有其特殊的要求，因此，洁净室内的空气电离器除了有消除静电的功能外，还要符合洁净室的要求。

关键词： 半导体制造 洁净室 静电放电 空气电离

作者: 管伟

作者单位: 亚太区

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 214-219

在线出版日期: 2007-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）