12英寸线超纯水水质浅析

摘要：

基于现代超纯水系统的若干实践，浅析现今超纯水水质的难点(TOC、SiO2、微粒的达标)，评论12英寸线水质要求上的现实性。

关键词： 超纯水 水质 总有机炭 微粒 可溶硅

作者: 林耀泽

作者单位: 无锡微电子科研中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 202-213

在线出版日期: 2007-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）