集成电路生产厂房废气的污染及治理

摘要：

本文介绍集成电路生产中产生的各种有害废气的种类，废气中有害物质浓度及危险性，降低车间内的有害气体的方法，并依据工程实践，评述了各类有害废气的各种处理方法。

关键词： 集成电路 空气污染 废气处理

作者: 秦学礼

作者单位: 中国电子工程设计院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 194-201

在线出版日期: 2007-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）