洁净室服装的静电性能和洁净性能测试方法研究

摘要：

洁净室、洁净室服装对于现代工业的作用勿庸置疑，本文主要从洁净室服装的作用原理、测试指标和测试方法等角度，对洁净室服装的洁净性能和静电性能的测试进行分析介绍。

关键词： 洁净室 洁净室服装 静电性能 洁净性能 测试方法

作者: 徐明 黄建华

作者单位: 上海晨隆静电科技有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 175-183

在线出版日期: 2007-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）