洁净室空气过滤器系统检漏方法有关问题

摘要：

对当前国际上，洁净室HEPA/ULPA过滤器系统的检漏方法进行介绍并对其特点进行分析。对比当前国内过滤器系统的检漏情况进行讨论。

关键词： 洁净室 空气过滤器系统 检漏方法 系统分析

作者: 严德隆

作者单位: 中国电子工程设计院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 147-153

在线出版日期: 2007-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）