TiN/CN多层膜的微观结构和力学性质

摘要：

本文对TiN/CN多层膜的微观结构和力学性质进行了分析。结果表明，由两种或多种材料以纳米量级交替沉积形成纳米级多层膜结构在适当的条件下可以实现组分材料优异性能的综合，从而表现出比单一材料构成的薄膜更加优越的性能。

关键词： 多层薄膜 薄膜结构 薄膜硬度

作者: 王晓姹 米文博 姜恩永 白海力

作者单位: 天津大学理学院现代材料物理研究所，天津300072

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 114

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）