脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究

摘要：

本文利用脉冲辉光PECVD在不同的气体比例和不同的脉冲偏压下均成功的制备了DLC薄膜。采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、原子力显微镜、纳米压痕仪、等设备对薄膜的相结构、表面形貌和力学性能进行了表征。

关键词： 金刚石薄膜 薄膜制备 气相沉积 脉冲辉光

作者: 楚信谱 苟伟 李剑锋 张礼平 李国卿

作者单位: 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连，116024，大连交通大学

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 92

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）