类金刚石薄膜的显微硬度测量

摘要：

本研究采用HXD-1000硬度仪对以硅为基底的DLC膜的硬度进行了测量，表明随着压痕对角线长度的增加，基底硅硬度与DLC膜复合硬度是减小的，形成压槽尺寸效应。

关键词： 金刚石薄膜 薄膜硬度 薄膜测量

作者: 马占吉 朱昌 任妮 朱春燕

作者单位: 1.中国航天科技集团公司五院510所表面工程技术国家级重点实验室，兰州730000 2.西安工业大学，陕西省薄膜技术重点实验室，西安710032

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 86

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）