TiC薄膜的性能研究

摘要：

本文对TiC薄膜的性能进行了研究。文章采用扫描电镜观察不同CH4流量下TiC薄膜的表面形貌以及通过EDK能谱分析Ti和C的相对含量:利用X射线衍射分析TiC薄膜的相结构；利用TaylorHobson轮廓检测仪分析TiC薄膜的粗糙度；利用XGY-03摩擦磨损表面形貌测试仪进行摩擦系数的测试。

关键词： TiC薄膜 薄膜性质 薄膜测试

作者: 邵霄 朱昌 梁海锋

作者单位: 西安工业大学陕西省薄膜技术重点实验室西安710032

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 84

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）