不同的真空热处理方式对碳膜性能的影响

摘要：

本文研究了不同温度下不同的真空热处理方式对碳膜的电学、光学和机械性能的影响，为找到合适热处理温度点来消除碳膜内应力来尽量保持碳膜的主要优良性能打下了基础。

关键词： 碳膜制备 碳膜内应力 真空热处理

作者: 朱小琴 杭凌侠

作者单位: 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，西安工业大学，710032

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 70

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）