激光器高反膜镀制工艺研究的新进展

摘要：

本文阐述了几种不同的激光高反膜的制备工艺，如电子束蒸发沉积、离子束辅助沉积、离子束溅射沉积和溶胶一凝胶沉积法等，分析了各种制备方法及工艺的特点，针对高反膜的抗激光损伤阂值低从而影响激光器输出功率的问题，对提高损伤闭值的途径进行了分析，讨论了在现有条件下提高激光高反膜性能的可能性。

关键词： 激光器件 激光输出 光学薄膜 全反射膜

作者: 邓婷 黄光周 罗海燕 叶位彬

作者单位: 华南理工大学电子与信息学院，广州，510640

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 54

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）