电致变色热控器件透明导电层的制备与研究

摘要：

本文针对电致变色热控器件的透明导电层开展了ITO薄膜的制备工艺研究，对薄膜制备过程中的几个主要影响因素(溅射压强、氩/氧比例、退火温度等)进行了分析。

关键词： 热控器件 电致变色 透明薄膜 磁控溅射

作者: 王洁冰 何延春 许旻 吴春华 赵印中

作者单位: 中国航天科技集团公司五院510所，表面工程技术国家级重点实验室，甘肃兰州 730000 中国航天科技集团公司五院510所，表面工程技术国家级重点实验，甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 45

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）