减反膜工艺研究的新进展

摘要：

本文结合近几年来国内外研究现状，阐述了几种不同的减反膜制备方法，分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点，如电子束蒸镀法、离子辅助淀积、溅射镀法、溶胶一凝胶法等。

关键词： 光学器件 薄膜光学 薄膜制备 减反膜工艺

作者: 罗海燕 黄光周 马国欣 叶位彬 邓婷

作者单位: 华南理工大学电信学院，广州，510640

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 22

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）