复合氧化物薄膜的金属有机物化学相沉积技术

摘要：

本文根据MOCVD方法沉积复合氧化物薄膜时存在的问题，介绍一种采用液态先体的MOCVD新方法。该方法具有设备成本适中、对薄膜微观结构控制好、沉积效率较高等优点。

关键词： 薄膜制备 氧化物薄膜 金属有机物 化学相沉积

作者: 刘卫国 张伟 周顺 高爱华

作者单位: 西安工业大学，光电微系统研究所，西安，710032

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 13

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）