新型TCO/TOS薄膜的研究进展

摘要：

本文结合新型透明导电氧化物薄膜和透明氧/硫化物半导体薄膜研究工作中的阶段性结果，介绍了当前TCO/TOS薄膜的研究状况和发展趋势。

关键词： 导电薄膜 电学涂层 半导体薄膜 载流子迁移

作者: 张群

作者单位: 复旦大学材料科学系上海 200433

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 11

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）