二氧化钛薄膜的CVD制备及其掺杂、复合和光催化机制研究

摘要：

本文采用常压化学气相沉积(APCVD)方法制备了TiO2薄膜。APCVD技术设备简单、成膜速度快、成本低，与浮法在线镀膜生产线配合可以制得性能优良和价格低廉的光催化功能镀膜玻璃。

关键词： 光催化剂 二氧化钛 薄膜技术 气相沉积

作者: 韩高荣 张溪文 郭玉

作者单位: 材料与化学工程学院，浙江大学，杭州310027

会议类型: 国内会议

会议名称: TFC”07全国薄膜技术学术研讨会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 6

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）