一种微型高频动态压力传感器的设计与制作

摘要：

硅压阻式压力传感器多采用周边固支的平膜片力敏元件设计，由于硅高的弹性模量、轻的质量及采用三维微机械加工的集成电路工艺制作，因此可获得小尺度的膜片，有利于获得低量程下高的固有频率。本文报道了一种微型高频动态压力传感器的设计与制作。

关键词： 微型动态 岛膜结构 灵敏度 压力传感器 力敏元件

作者: 尤彩红 王冰 王文襄

作者单位: 江苏昆虫双桥传感器测控技术有限公司，江苏昆山，215325

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国激波与激波管学术会议

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 532-533

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）