等离子体损伤测试方法研究

摘要：

设计了一种评估等离子体损伤的测试方法。利用电流流经氧化层时会在氧化层产生缺陷，造成隧道电流降低的原理，通过测量氧化层的隧道电流来评估工艺制造过程中的等离子体对介质造成的损伤。测量结果使用气泡图表示，气泡面积表示隧道电流大小，面积越大表示等离子体损伤越小。

关键词： 氧化层 等离子体损伤测试 隧道电流 工艺制造 气泡图

作者: 徐政 孙锋

作者单位: 无锡中微晶圆电子有限公司,江苏 无锡 214035

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十三届青年学术年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 262-265

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）