SiC薄膜的MEMS应用

摘要：

SiC材料以其优良的物理化学性能在MEMS领域得到广泛认同和使用，并在极端环境应用中成为Si材料的替代品。本文从SiC材料的特性出发，详细讨论了SiC薄膜材料的性能、制备方法，并综述了近年来SiC在MEMS中的研究进展。

关键词： 碳化硅薄膜 微电子机械系统 SiCOI 传感器

作者: 赵楠 贾护军 柴常春

作者单位: 西安电子科技大学微电子学院教育部宽禁带半导体材料与器件重点实验室,西安 710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会第十三届青年学术年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 100-107

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）