超深亚微米级硅基螺旋电感器等效电路模型研究

摘要：

本文根据超深亚微米级硅基螺旋电感器的物理特性，利用全电磁波仿真程序模拟出硅基螺旋电感器的射频特性参量，在此基础上提出了一种高精度的硅基螺旋电感器等效电路模型，将射频特性拟合到等效电路中抽取出其元件参数值。在硅基螺旋电感器的自谐振频率以下，其全电磁波仿真的射频特性与等效电路模型的仿真值之误差均小于3％，二者具有很好的吻合度。

关键词： 等效电路 硅基螺旋电感器 自谐振频率 物理特性 电路模型

作者: 杨红 庞宏 文光俊

作者单位: 电子科技大学通信与信息工程学院RFIC研究室,四川省成都市,610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国通信学会第五届学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 859-863

在线出版日期: 2008-02-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）