CVD金刚石制备方法及其工业化前景分析

摘要：

文章对多种CVD金刚石膜制备方法进行了介绍，同时对近年来国内外CVD金刚石技术及其产业发展状况、应用领域开发、潜在的市场前景等方面进行了分析讨论。指出：作为21世纪的高新材料，CVD金刚石及其工具产品的产业化发展，必将在科技、国防、军工及民用工业等技术领域起非常重要的作用。

关键词： CVD 金刚石膜 沉积法 产业发展 金刚石工具

作者: 董长顺 玄真武 石岩 秦松岩

作者单位: 北京天地东方超硬材料股份有限公司,北京 100018

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国超硬材料发展论坛暨第2届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 50-57

在线出版日期: 2008-06-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）