一种类富勒烯碳膜在不同气氛中摩擦学行为及其机理研究
采用磁控溅射钛靶，以甲烷和氩气为前驱体，在单晶硅片表面制备了类富勒烯碳薄膜。采用高分辨率透射电子显微镜对薄膜的微观形貌进行了表征，采用-纳米压痕仪测定了薄膜的硬度及弹性回复，在球一盘微摩擦试验机上考察了薄膜在不同气氛(氮气、氧气、空气)中的摩擦行为。实验结果表明薄膜具有类富勒烯结构特征。计算出薄膜的硬度为20.9GPa，对应的弹性回复高达85％。薄膜的摩擦性能与气氛相关：在氧气中摩擦系数最小而磨损率最大；在氮气中摩擦系数最大而磨损率最小。
类富勒烯碳膜 摩擦学行为 磁控溅射 单晶硅片 微观形貌 弹性回复 摩擦性能 摩擦系数 不同气氛
王霞 王鹏 杨生荣 张俊彦
中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000 中国科学院研究生院，北京 100039 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000
国内会议
武汉
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181-184
2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）