会议专题

掺氮类金刚石薄膜的摩擦学行为研究

本文用脉冲等离子体增强化学气相沉积方法,以甲烷和氮气作反应气源,在n-型硅(100)表面上沉积含氮的类金刚石薄膜。薄膜的组成和结构用X光子能谱和红外光谱进行了表征。薄膜的摩擦学特性在UMT往复摩擦机上进行了评价。结果表明:(1)掺氮类金刚石薄膜的氮含量随着前驱气体中氮气含量的改变而改变。随着前驱气体中氮气的增加,薄膜中氮原子的含量逐渐增加;(2)掺氮类金刚石的摩擦学性质和载荷的关系很大,在较低的载荷下,含有较少氮含量的薄膜的摩擦系数为0:07,含有较高氮含量的薄膜的摩擦系数为0.1;在较高的载荷下,薄膜的摩擦系数有所减少。但氮含量的变化对摩擦系数的影响不大(两种薄膜摩擦系数都大约为0.05),此时薄膜的摩擦寿命会有所缩短。

类金刚石薄膜 摩擦学行为 化学气相沉积 等离子体 薄膜结构 氮含量 摩擦系数

王舟 王成兵 王琦 张俊彦

中国科学院兰州化学物理研究所,兰州 甘肃 730000 兰州大学物理系,兰州 甘肃 730000

国内会议

2008全国青年摩擦学与表面保护学术会议

武汉

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175-177

2008-05-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)