非离子表面活性剂在ULSI碱性铜抛光液中的性能

摘要：

使用了四种非离子表面活性剂分别添加到以SiO3水溶胶为磨料、H2O2为氧化剂的碱性铜抛光液中进行抛光试验。结果表明：所选用的非离子表面活性剂对材料去除率的影响不大，当烷基酚聚氧乙烯醚在质量分数为0.25％时，抛光表面质量提高，表面粗糙度由Ra=13.54(A)下降到了Ra=8.976(A)，同时有效地减轻了铜抛光表面的划痕和腐蚀，其原因是聚氧乙烯链可以通过醚键与水分子形成氢键，因而在聚氧乙烯周围形成一层溶剂化的水膜保护了被吸附表面。

关键词： 非离子表面活性剂 表面粗糙度 聚氧乙烯 碱性铜抛光液

作者: 李庆忠 张然 郭东明

作者单位: 江南大学,江苏 无锡 214122 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连 116024

会议类型: 国内会议

会议名称: 2008全国青年摩擦学与表面保护学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 115-118

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）