会议专题

非离子表面活性剂在ULSI碱性铜抛光液中的性能

使用了四种非离子表面活性剂分别添加到以SiO3水溶胶为磨料、H2O2为氧化剂的碱性铜抛光液中进行抛光试验。结果表明:所选用的非离子表面活性剂对材料去除率的影响不大,当烷基酚聚氧乙烯醚在质量分数为0.25%时,抛光表面质量提高,表面粗糙度由Ra=13.54(A)下降到了Ra=8.976(A),同时有效地减轻了铜抛光表面的划痕和腐蚀,其原因是聚氧乙烯链可以通过醚键与水分子形成氢键,因而在聚氧乙烯周围形成一层溶剂化的水膜保护了被吸附表面。

非离子表面活性剂 表面粗糙度 聚氧乙烯 碱性铜抛光液

李庆忠 张然 郭东明

江南大学,江苏 无锡 214122 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁 大连 116024

国内会议

2008全国青年摩擦学与表面保护学术会议

武汉

中文

115-118

2008-05-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)