管简状零部件等离子体离子注入与沉积
管筒状零部件在工业中得到了较多应用，如各种管道、气缸、枪炮身管等等，为了提高这些零部件的服役寿命和工作精度，经常需要对管筒内壁进行表面处理。等离子体表面处理由于环保以及精密等原因受到了人们重视，然而对于管筒(尤其是细长管筒)内壁等离子体表面处理一直是一个较为棘手的问题。原因在于在管筒内部的狭小空腔里，一方面等离子体很快耗尽，另一方面等离子体的补充速度很慢，因此人们采用了多种技术手段。等离子体浸没技术为管筒内表面的离子注入与沉积提供了可能。本文将从管筒内部等离子体产生方法、等离子体鞘层的扩展与重叠、鞘层的恢复以及管筒内部电位钳制等多个层面，论述管筒内壁等离子体离子注入与沉积方法的可行性、适应性，并给出我们实验室在管筒内壁等离子体注入与沉积处理方面的研究结果。
管筒状零部件 等离子体浸没 表面处理 离子注入 沉积处理
田修波 巩春志 崔江涛 姜海富 汪志健 杨士勤
哈尔滨工业大学 材料学院,现代焊接生产技术国家重点实验室
国内会议
武汉
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2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）