复合硅传感器的应用

摘要：

介绍了威尔泰研发的使用复合硅敏感元件的差压/压力传感器，并就研发过程中的一些关键问题进行了讨论。

关键词： 传感器 温度补偿 静压补偿 复合硅

作者: 李程生 陈捷

作者单位: 上海威尔泰工业自动化股份有限公司,上海 201103

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届工业仪表与自动化学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 140-143

在线出版日期: 2008-06-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）