在单结晶锗基板上进行菲涅尔透镜的超精密切削研究
本文介绍以硬脆材料单结晶锗为基板的菲涅尔透镜的延性切削技术。菲涅尔透镜可以在很薄的厚度上设计大的直径，除了具有球面透镜相同的作用外，可以大大减轻透镜的厚度和重量，减少透光损失。单结晶锗等硬脆材料，在加工时极易产生表面微小裂纹。本文采用延性切削技术，利用单点金刚石刀具在单晶锗上加工红外菲涅尔透镜。通过设定极小的切削厚度(小于50nm)、采用负前角刀具，优化切削路径和适当的切削环境，成功的实现了十微米级曲面沟槽的菲涅尔透镜的延性切削，并且解决了单结晶锗菲涅尔透镜圆环尖顶破碎的难题，保证了菲涅尔透镜具有高的形状精度和较低的表面粗糙度。
菲涅尔透镜 单结晶锗 超精密加工 金刚石车削
范玉峰 闫纪旺 厨川常元
湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心湖南长沙410082 日本东北大学工学部纳米机械学系日本仙台980-8579
国内会议
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124-132
2007-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）