离子束溅射镀膜机电源的研制

摘要：

本文介绍了离子束溅射镀膜机电源的设计方案,并着重阐述了短路保护电路、自动恢复电路和线性光电隔离电路的设计.测试结果表明:该电源能满足离子束溅射镀膜机设备的要求,现场运行稳定可靠.

关键词： 离子束溅射镀膜 短路保护 自动恢复 光电隔离

作者: 邹春艳 罗宏洋 杨建生

作者单位: 中国电子科技集团公司电子第48研究所,长沙,410111

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电源学会全国电源技术年会(第17届)

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 871-872

在线出版日期: 2007-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）