集成低电压电泳芯片的设计制作研究
在过去十年中,MEMS技术的快速发展为实现分析仪器的微型化,集成化,智能化,降低分析仪器的成本提供了新的机遇和技术支持。低电压电泳芯片将分离管道划分成多个连续区带,分离电压施加在短的管道区带之上,进而在保证分离场强的基础上,降低整个分离体系的焦耳热效应。本文将SOI技术用于低电压电泳芯片的制作,基于阵列电极结构设计,以直流电压获得了低电压电泳分离所需的驱动力。
低电压电泳芯片 阵列电极结构 设计制作 焦耳热效应 SOI技术
徐溢 申纪伟 陆嘉莉 胡小国 温志渝
化学化工学院,微系统研究中心,重庆大学,重庆,400030 化学化工学院,重庆大学,重庆,400030 微系统研究中心,重庆大学,重庆,400030
国内会议
大连
中文
51-52
2007-06-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)