微全分析系统芯片几种快速加工方法
微型电子机械系统(MEMS)由于具有狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境和对象的特点，在航空航天、精密仪器、材料、生物医疗等领域有着广泛的应用潜力，并成为纳米技术研究的重要手段。微全分析系统(μ-TAS)以分析化学为基础，微加工技术为依托的跨学科领域的一门新技术。其目的是通过化学分析设备的微型化与集成化，最大限度地把分析实验室的功能转移到便携的分析设备中，甚至集成到方寸大小的芯片上，统称为“芯片实验室”(lab-on-a-chip，LOC)。随着μ-TAS概念的提出，人量研究者把μ-TAS的概念首先应用到了毛细管电泳(CE)上。本文针对具体加工工艺过程，总结出几种简化操作工艺。
微全分析系统芯片 快速加工 芯片实验室 毛细管电泳
田丽 王蔚 刘晓为 王喜莲
哈尔滨工业大学MEMS中心 黑龙江省哈尔滨市 150001
国内会议
大连
中文
45-46
2007-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）