聚合物微流控芯片通道微成型与封接技术
聚合物微流控芯片的制作技术多种多样。热压印和热键合法具有复制精度高、成本低、操作简便等优点，非常适合聚合物微流控芯片的批量化制作，近年来受到学界的广泛关注。本文介绍：1.聚合物微流控芯片制造系统的研制，2.热压模具的研制，3.CO2激光在微流控芯片制作中的应用，4.微通道成型与封接技术。
聚合物微流控芯片 制作技术 通道微成型 热压印 热键合法 封接技术
刘冲
大连理工大学微系统研究中心,大连,116023
国内会议
大连
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25-26
2007-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）