一种对称电容式微差压伺服传感器

摘要：

该文报道一种测量差压值在1Pa-100Pa左右的高灵敏度差压传感器。在有限元分析的方法对结构进行形变模拟的基础上，对差压传感器的电容值和伺服电压值进行了理论计算。在此结果上结合工艺条件，最终确定结构参数。实际工艺上用浓硼扩散自停止腐蚀方法，制造高灵敏度的膜岛结构。

关键词： 电容式微差压传感器 伺服 有限元分析

作者: 韩明 王跃林 解健芳

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 195～197

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）