再平衡电容扭摆式加速度计的测量与控制
该文主要讨论电容式加速度计的测量控制电路。电路采用静电再平衡方法，激励信号作为调制信号加在激励电极上，信号从加速度计板块输出，经过进行电容测量（采用电荷再分配法）及放大电路后，再经过解调电路，滤波电路，电极发生，到达反馈电压发生电路。产生的反馈电压加到敏感电极上，使得因加速度输入而倾斜的加速度板块重新平衡。同时，反馈电压也作为输出反应了加速度的大小。
电容式加速度计 静电再平衡法
肖yǎn 茅盘松
南京东南大学微电子中心
国内会议
北京
中文
58～61
1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）