光学元件波像差计量测试技术研究
本文简要介绍了国防科工委光学计量一级站在光学元件波像差计量测试方面的技术现状，包括平面波像差计量标准，球面波像差计量标准，柱面波像差计量标准。以激光干涉仪为基础，配有标准平晶、标准球面镜、标准柱面镜，采用移相干涉测试技术，实现了平面面形、平面波像差、球面波像差和柱面波像差的校准和测试。为了提高测量平面、球面、柱面波像差的测量准确度，对于平面可用三平面互检法进行测试和标定；对于球面和柱面，需要把干涉仪主机、齐明透镜(柱面透镜)和参考镜本身的误差从测量结果中分离出来并加以消除，采用三次绝对检验方法可达到此目的。
光学元件 波像差 计量测试 光学计量
王生云
国防科工委光学计量一级站 西安710065
国内会议
杭州
中文
113-116
2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）