微机电系统开关可靠性及失效分析

摘要：

射频微机电系统(RF MEMS)开关是基于MEMS技术的微波信号变换的关键元件,开关的可靠性及失效问题是决定其能否最终成功应用的关键.本文介绍了RF MEMS开关的可靠性问题,详细探讨了串联电阻式开关和并联电容式开关的失效模式及失效机理,并对今后RF MEMS开关可靠性方面的工作进行了展望.

关键词： 射频微机电系统 微波开关 可靠性 失效分析

作者: 郭永献 梁丽萍 张大兴

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院,陕西,西安,710071 航天长征火箭技术有限公司,北京,100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年全国失效分析学术会议

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 405-408

在线出版日期: 2007-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）