微波等离子体制备类金刚石薄膜的研究

摘要：

微波放电是无电极放电,能获得纯净和高密度的等离子体。在微波等离子体中存在大量的长寿命自由基,微波能增强气体分子的激发、电离和离解过程。由于等离子体具有一定的空间分布,为了沉积出比较均匀、纯净和高质量的半导体薄膜,故需要对反应室内的等离子体的分布的均匀性进行测试研究。

关键词： 等离子体 类金刚石薄膜 微波放电 空间分布 半导体薄膜

作者: 赖秀琼 陈俊芳 杨春林 史磊

作者单位: 华南师范大学物理与电信工程学院 广州大学城 510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国MOCVD学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 288-289

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）