气体质量流量控制器
在MOCVD设备中,气态源部分需要用到质量流量控制器控制气体的流量,同时要求质量流量控制器具有高精度、重复性好、抗干扰能力强等特点。在MOCVD设备中,常常需要通入有机金属源,这就要求质量流量控制器有良好的密封性。 公司的产品满足上述要求,同时漏率可以做到1×10<”-9>SCCSHe,CS-200系列可以做到<1×10<”-11>sccsHe。通过了IS09001质量管理体系认证;通过了工S014001/OHSA18001环境/健康安全管理体系认证;主要出口产品通过了欧洲CE认证:连续被北京市工商管理局公示为守信企业:被德勤会计师行评为业太地区高科技成长500强;荣获了由市国被局颁发的纳税信用A级企业荣誉证牌;连续四年被公示为北京市质量信得过单位;连续四年被评为北京市高新技术企业。
流量控制器 抗干扰能力 密封性 气体质量流量
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119-122
2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）