基于FPGA的等离子体密度自动诊断系统

摘要：

本文提出了一种基于FPGA的等离子体静电探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法。该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰。信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述,并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现,提高了等离子体静电探针参数诊断的效率。得到了放电气压0.25Pa、射频13.56MHz、功率200W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度。

关键词： 等离子体 FPGA 静电探针 密度检测 自动诊断系统

作者: 史磊 陈俊芳 张茂平 符斯列 杨春林 田琴

作者单位: 华南师范大学物理与电信工程学院 广东广州 510006

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国MOCVD学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 96-98

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）