弧矢聚焦双晶单色器出射光束位置测试方法研究

摘要：

简要介绍了弧矢聚焦双晶单色器的作用及基本原理,描述了离线测量弧矢聚焦双晶单色器出射光斑位置的方法。此方法为弧矢聚焦双晶单色器出射光束位置的快速装调提供了有效的措施。

关键词： 弧矢聚焦双晶单色器 光束位置 测试方法

作者: 张周锋 赵建科 袁湘兰 冯婕

作者单位: 中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119 中国科学院西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119 中国科学院研究生院,北京 100039

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 253-255

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）