用于一等量块检定的柯氏干涉仪改造

摘要：

介绍了改造后的柯氏干涉仪用于一等量块的检定,从激光干涉仪直接测量量块长度的原理出发,通过对干涉条纹的整数部分N、小数部分ε以及修正量C的确定,计算出量块长度。改造中结合激光干涉技术、图像采集判读等技术,提高了量块测量不确定度,解决了一等量块长度测量问题。

关键词： 一等量块 长度测量 柯氏干涉仪 图像采集

作者: 裴雅鹏 黄晓蓉

作者单位: 北京航天计量测试技术研究所,北京 100076 中国测试技术研究院,四川 成都 610021

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 246-249

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）