一等量块光波干涉测量要件

摘要：

以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。

关键词： 一等量块 光波干涉测量 干涉条纹小数 温度测量

作者: 黄晓荣 李小林

作者单位: 中国测试技术研究院,四川 成都 610021

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 234-236

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）