会议专题

半导体制冷横向塞曼稳频激光干涉测量系统

介绍了横向塞曼效应He-Ne激光器的磁场设定、信号获取、利用半导体制冷(TEC)的主从控制稳定频率的技术。阐述了由程控倍频模块和双通道缓冲连续计数模块组成的电子细分电路,实现可用按键设定2、4、8、16四种计数脉冲细分系数,以获取不同干涉测量分辨力。实验得出了横向塞曼稳频激光器的频率稳定度为1.74×10-9,稳频时激光管温度为43℃,克服了加热稳频法激光管温度过高、不易散热以及风扇风冷法激光频率短期稳定度低的缺点。系统具有0.16、0.08、0.04、0.02μm四种测量分辨力。

激光干涉仪 横向塞曼效应 半导体制冷 频率稳定度

付志凯 张健 吴丽莹

哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150001

国内会议

二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

西安

中文

207-211

2008-05-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)