用内标法在SEM上测定固体颗粒直径

摘要：

阐述了用内标法在扫描电子显微镜上测定固体颗粒直径的方法、实验、计算方法和测量不确定度评估。并通过对测量不确定度评估的讨论,认为用内标法在扫描电子显微镜上测量微小物质长度是一种操作方便,可以获得较小的测量不确定度的方法。

关键词： 扫描电子显微镜 内标法 测量不确定度 固体颗粒

作者: 盛克平 姜志华

作者单位: 上海市计量测试技术研究院 上海 201203

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 203-206

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）