利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测

摘要：

简要介绍了双频激光干涉仪的组成和工作原理,并介绍了一种快速调整激光干涉仪准直的方法以及检测机床定位精度时的注意事项。

关键词： 激光干涉仪 光路准直 机床定位精度 快速检测

作者: 曹利波

作者单位: 中国空空导弹研究院,河南 洛阳 471009

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 200-202

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）