激光平面度仪的研究

摘要：

针对大型环形平面尤其是非连续平面(带孔、有槽、中间有凸台子、中间间断、异形平面)平面度的检测,研制了一种新型测量设备-激光平面度仪。该仪器采用了激光器、五棱镜与转台组合产生基准平面,以PSD作为探测器;通过测量被测点与基准面的高度差获取平面度数据。该仪器的测量不确度为4.6μm。

关键词： 平面度 非连续平面 激光测量 五棱镜

作者: 杨文志 景洪伟 曹学东 吴时彬

作者单位: 中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 144-146

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）