基于反射式三光栅光学系统的金属光栅编码器

摘要：

传统的透射式二光栅系统为了提高精度,需要高度准直的光源,主光栅和指示光栅之间的间隙很小,一般位于第一菲涅耳焦面上,允差较小,容易擦伤光栅表面。而三光栅系统对光源的准直度要求不高,对光栅间隙变化不敏感,采用细栅距光栅时对光机结构的要求不象二光栅系统那样严格。因此,可将之应用于反射式金属编码器中。深入讨论了反射式三光栅系统的工作原理,基于反射式三光栅光学系统设计了金属光栅编码器的光机结构和信号处理硬件电路,采用对径数字量相加技术补偿反射式金属光栅的安装误差。

关键词： 金属光栅编码器 反射式三光栅 系统设计 光机结构 信号处理

作者: 苏东风 续志军

作者单位: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033 中国科学院研究生院,北京 100039 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 84-86

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）